洪义麟  

■本报记者 王敏

中国迷信技术大学（如下简称中国科大 ）国家同步辐射试验室教授级低级工程师洪义麟 ，天下是追光一位衍射光栅研制专家 。但在共事眼中，天下他不光是追光一位工程师，更是天下缺甚么配置装备部署就能想措施造出甚么配置装备部署的能工细匠。

多年来 ，追光他不断环抱国家严正策略需要，天下临时处置衍射光栅钻研，追光向导团队自主研收回多套光栅研制关键工艺配置装备部署，天下逐渐处置了限度我国强激光技术睁开的追光大口径光栅“洽谈”下场
。日前 ，天下他取患了中国迷信院第四届“科苑名匠”称谓。追光

“国家的天下需要，便是追光我的目的。攻坚克难，天下废寝忘食
，乐在其中。”洪义麟说
。

结缘光栅

前不久 ，第十九届“中国光谷”国内光电子展览会在武汉举行。洪义麟团队照料多项立异下场参会。

“咱们揭示的下场有米级口径脉冲缩短光栅、反射式宽带镀金光栅、高功能光谱合束光栅、AR衍射光波导光栅、高衍射功能透射光栅……”洪义麟向《中国迷信报》介绍这些下场时，一五一十 。

作甚光栅
？“光栅是一种具备纳米精度周期性微妄想的详尽光学元件，因形如栅栏 ，故名光栅 。”洪义麟介绍 ，光栅概况上看像是一块玻璃或者镜子 ，但在电子显微镜下看 ，其概况平均扩散着有数根平行的线条 。由于衍射熏染，光栅可能把射入的白光给色散开 ，组成光谱
。光栅是光谱仪器的“心脏” ，差距的物资光谱特色差距，由此可能合成出组成物体的“成份”。

艰深来说 ，光栅线条数目越多 ，精度越高
，合成“本领”越强，光谱合乐成果越精确。但不论将光栅“做大”仍是“做精”都很难题 ，两个同时做到，更是难上加难。

光阴回到1991年，我国第一个国家级试验室——国家同步辐射试验室一期工程建树挨近序幕，即将接受国家验收
，但从外洋定制的光栅到货光阴却还不可企及
。工程建树团队曾经试验分割国内多家光学元件研制单元，但都无奈处置这一随手难题
。

情急之下，时任中国科大副校长、国家同步辐射试验室工程总司理包忠谋 ，找到洪义麟地址的衍射波带片研制攻关小组，要求团队“确定要研制出光电子能谱光束线的光栅，需要的条件，惟独有可能
，一律知足”。

可是 ，此时小组里的4总体，谁都不知道若何制作光栅。“咱们只能凭证书籍知识，重新开始试探工艺 ，侥幸的是试验室已经装备了国产的激光器 、光学平台、离子束刻蚀机等根基研制配置装备部署。”洪义麟回顾道。

因全息曝光试验室挨近马路 ，白昼汽车经由发生的震撼会使线条“迷糊”，他们只能下三更做全息曝光试验；刻蚀机口径不够大，自己入手刷新；全息掩模做好了  ，装到刻蚀机里，抽上真空 ，他们就放松光阴睡一下子 ，醒来再不断做刻蚀以及电镜试验……

就这样
，全组职员经由3个月的昼夜奋战，终于研制出我国第一块技术目的及格的同步辐射光栅，保障了国家同步辐射试验室一期工程的顺遂验收 。

从那时起
，洪义麟正式与光栅结缘。

向高详尽光栅进军

走进衍射光学元件详尽加工试验室，十多台仪器配置装备部署都在有序使命 。“这是涂胶机 
、离子束刻蚀机、洗涤机
、衍射功能丈量零星……”洪义麟凭证光栅制作的步骤
，挨次介绍了他们自主研发的一系列国内大光栅研制关键工艺配置装备部署。

正是凭仗这些“金刚钻”，他们研制出多种大口径脉冲缩短光栅。好比，当初国内上最大口径1400毫米的介质膜高阈值脉冲缩短光栅。这些下场已经运用在国内主要强激光装置上，助力我国高能激光零星抵达天下先历水平。很难想象，上世纪末 ，我国大口径光栅制作仍是一片空缺。

洪义麟介绍，作为高功能激光的中间元件，差距于艰深光栅，这种大口径光栅的主要特色是“一大三高”：米量级大口径（抵达1米以上）、高衍射功能（抵达95%以上） 、高精度衍射波前（线条平均性好以及光栅基周全型精度高）
、高抗激光伤害阈值（耐强激光映射能耐强）。

“将这么多灾点群集在一块光栅上
 ，制作难度之大、工艺之重大 ，显而易见 。”洪义麟直言 。当时 ，国内上仅有法国以及美国各一家公司可能制作 ，且最大口径仅有900毫米摆布
。

为了突破困局，2002年，国家“863妄想”攻关名目“大口径衍射光学元件研制”开始实施。由中国科大牵头
，散漫清华大学 、苏州大学
、四川大学、中国迷信院上海光学详尽机械钻研所组成大光栅团队妨碍攻关
，目的是研发半米量级的脉冲缩短光栅。

工欲善其事，必先利其器。洪义麟牵头开始研制中等口径旋转涂胶机 、中等口径离子束刻蚀机、等离子灰化机等关键工艺配置装备部署。

有了配置装备部署，团队很快研制出第一块100毫米口径的介质膜脉冲缩短光栅，实现为了国内脉冲缩短光栅从无到有的逾越。2009年，团队研制出430毫米口径的光栅，美满实现攻关使命。

有了定夺，团队开始向更高目的进军——担当国家严正专项“衍射光学元件中试验证与关键技术攻关”名目 ，制作米量级（1400毫米）口径脉冲缩短光栅，并实现批量供货
。

“光栅口径一下从430毫米削减到1400毫米。对于应到配置装备部署上，简直所无关键工艺配置装备部署都需要重新研制，致使有些配置装备部署的技术道路都要作出修正 。”洪义麟说 ，从口径上来看，这些配置装备部署简直都是国内上最大的
。

光阴紧 ，使命重  ，难度大 。洪义麟再次向导团队从技妙筹划到关键器件 、从机械妄想到加工工艺 、从装置调试到试验工艺，妨碍了一系列的立异以及关键技术攻关。最终，历经7年光阴，他们啃下了这块“硬骨头” ，实现为了关键大口径光栅工艺配置装备部署的自主研制。

除了研制配置装备部署外 ，洪义麟向导团队立异工艺技术——初创等离子掩模更正技术，实现光刻胶光栅线条的高精度更正 。同时，研制出一批关键工艺在线监测零星，光栅工艺操作实现为了从凭“履历”到迷信“定量”操作的逾越。

在洪义麟看来 
，强国之梦，需要高新技术反对于 。要想遇上国内先历水平，不捷径，惟独支出更多自动。

“要深信咱们不比他人差”

可能是“骨子里的遗传”，洪义麟从小就喜爱入手鼓捣种种小工具 。“我的父亲很早就评上了7级钳工  。小时候，父亲每一每一带着我在家里做一些玩具
、桌椅板凳等。这为我的童年带来了良多兴趣，也哺育了我的入手能耐
。”洪义麟孤洼地说。

1981年，洪义麟考入浙江大学光学仪器业余 ，这是我国光学工程里的顶尖学科 。“当时 ，我比力相机、片子放映机等特意好奇，妄图着之后能亲手打仗这些‘高大上’的仪器 ，感应那便是最佳的使命
 。”洪义麟说。

1985年，洪义麟退出国家同步辐射试验室。回顾38年科研生涯 ，洪义麟感慨道：“干使命要有定夺，要深信咱们不比他人差。个别国内上有人可能做进去的工具 ，咱们确定也能做进去，致使能比他人做患上更好 。”

付绍军是1977年中国科大物理系结业生，1984年初从物理系调入国家同步辐射试验室。30多年来，作为中国科大教授级低级工程师，他不断与洪义麟并肩作战 ，是洪义麟的“老向导” ，也是最佳的“同伴”。

“洪义麟既智慧又无能，而且多年如一日，兢兢业业、认子细真处使命
，这黑白常罕有的 。”谈起洪义麟，付绍军歌颂连连。

作为大光栅团队负责人，洪义麟每一每一鼓舞学生 ，入手是工程师的根基本领
，惟独亲自做过，能耐更好、更快地找处处置难题的措施；要看重实际的教育熏染 ，在实际上多花光阴，做试验就会事倍功半。同时 ，还要具备很强的不断学习能耐以及精采的团队相助肉体。

“咱们遇上了一个重大的时期，也是光栅普遍运用的时期。我将不断向导团队顺应国家需要 、顺应市场需要，攻坚克难，不断提升光栅功能，为中国制作、中国缔造贡献自己的实力。”洪义麟展现。